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光学装备

小磨头抛光机床

小磨头抛光机床

采用小尺寸抛光工具(聚氨酯、沥青盘、阻尼布等)对光学材料进行确定性去除的一种超精密抛光方法。
  • 可加工的材料包括但不限于

    铝、微晶、ULE、熔石英、BK7、K9、蓝宝石、SiC、单晶硅、锗以及其他光学材料。

  • 可加工面形

    平面、球面、非球面和自由曲面等。

  • 加工精度

    面形精度RMS优于λ/50@λ=632.8nm;表面粗糙度优于0.5nm。