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光学装备

离子束抛光机床

离子束抛光机床

抛光原理:在真空条件下,将氩气 (Ar)、氪气 (Kr)、氙气(Xe)等惰性气体通过离子源电离产生具有一定能量的离子束流轰击工件表面,实现原子量级的确定性材料去除。
  • 可加工的材料包括但不限于

    铝、微晶、ULE、熔石英、BK7、K9、蓝宝石、SiC、单晶硅、锗以及其他光学材料。

  • 可加工面形

    平面、球面、非球面和自由曲面等

  • 加工精度

    面形精度RMS和表面粗糙度均可达亚纳米精度。